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Ion Sources

Idioma InglésInglés
Libro Tapa dura
Libro Ion Sources hang Huashun
Código Libristo: 01566924
Editores Springer, Berlin, noviembre 1998
Ion implantation has become a basic technology in device manufacturing. For efficient use of this ac... Descripción completa
? points 606 b
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Ion implantation has become a basic technology in device manufacturing. For efficient use of this accelerator-based technique the choice of appropriate ion sources is important. This book deals with the design and operation of ion sources. Additionally the physics of ion formation of the various elements with different charge states and charge neutralization are discussed. Ion selection and beam diagnostics are part of the book too. The presentation of the necessary equations and diagrams for the various parameters makes this book useful as a handbook for ion sources.

Actriz & Políglota
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Sobre el libro

Nombre y apellidos Ion Sources
Autor hang Huashun
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa dura
Fecha de publicación 1999
Número de páginas 476
EAN 9783540657477
ISBN 3540657479
Código Libristo 01566924
Editores Springer, Berlin
Peso 894
Dimensiones 156 x 234 x 26

Categorías

Matemáticas y ciencias > Química > Química física > Química de superficies y adsorción
Matemáticas y ciencias > Física > Física nuclear/Estructura nuclear
Matemáticas y ciencias > Física > Física de partículas y de altas energías
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Tecnología: cuestiones generales > Ingeniería: general
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería mecánica y de materiales > Ciencia de materiales
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