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Laser Damage in Calcium Fluoride

A theoretical approach to radiation damage

Idioma InglésInglés
Libro Tapa blanda
Libro Laser Damage in Calcium Fluoride Stephan Rix
Código Libristo: 07065434
Editores Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG, diciembre 2011
Calcium fluoride is a key lens material in deep-ultraviolet microlithography. However, exposure to h... Descripción completa
? points 168 b
68.79 €
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Calcium fluoride is a key lens material in deep-ultraviolet microlithography. However, exposure to high fluences of the application wavelength, 193 nm, results in coloring of the material and degrading of its optical properties. Based on theoretical modeling and with the support of experimental evidence, the damage process is discussed from the initial matter-light interaction to the formation of complex radiation damage structures. Understanding laser damage or radiation damage in general is crucial for the development of future high-performance optical materials.

Actriz & Políglota
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Ewa Kasp
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Sobre el libro

Nombre y apellidos Laser Damage in Calcium Fluoride
Autor Stephan Rix
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa blanda
Fecha de publicación 2011
Número de páginas 132
EAN 9783838128108
ISBN 3838128109
Código Libristo 07065434
Editores Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG
Peso 204
Dimensiones 152 x 229 x 8

Categorías

Matemáticas y ciencias > Física
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