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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004

Idioma InglésInglés
Libro Tapa dura
Libro Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004 R. J. CarterC. S. Hau-RiegeG. m. KlosterT. -M. Lu
Código Libristo: 02060385
Editores Materials Research Society, septiembre 2004
The scaling of device dimensions with a simultaneous increase in functional density has imposed trem... Descripción completa
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The scaling of device dimensions with a simultaneous increase in functional density has imposed tremendous challenges for materials, technology, integration and reliability of interconnects. To meet requirements of the ITRS roadmap, new materials are being introduced at a faster pace in all functions of multilevel interconnects. The issues addressed in this book cannot be dispelled as simply selecting a low-k material and integrating it into a copper damascene process. The intricacies of the back end for sub-100nm technology include novel processing of low-k materials, employing pore-sealing techniques and capping layers, introducing advanced dielectric and diffusion barriers, and developing novel integration schemes. This is in addition to concerns of performance, yield, and reliability appropriate to nanoscaled interconnects. Although many challenges continue to impede progress along the ITRS roadmap, the contributions in this book confront them head-on. It provides a scientific understanding of the issues and stimulate new approaches to advanced multilevel interconnects.

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Sobre el libro

Nombre y apellidos Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004
Autor R. J. CarterC. S. Hau-RiegeG. m. KlosterT. -M. Lu
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa dura
Fecha de publicación 2004
Número de páginas 402
EAN 9781558997622
ISBN 1558997628
Código Libristo 02060385
Editores Materials Research Society
Peso 677
Dimensiones 160 x 234 x 28

Categorías

Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería mecánica y de materiales > Producción e ingeniería industrial > Control de calidad industrial
Derecho > Derecho de países o territorios concretos y áreas específicas del derecho > Propiedad intelectual
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería mecánica y de materiales > Ingeniería mecánica
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería mecánica y de materiales > Ciencia de materiales
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