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Nouvelles Morphologies Du Silicium Nanostructure Issues de L''Anodisation Electrochimique
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L''anodisation électrochimique du Si monocristallin est apparue comme une technique efficace permettant la nanostructuration du Si ŕ température et atmosphčre ambiantes. En particulier, elle permet de fabriquer les nanostructures de Si poreux. Cependant, les interconnexions qui existent entre les nano-particules constituant les couches poreuses empęchent le confinement complet de porteurs de charges. Durant cette thčse deux nouvelles approches de fabrication des nanoparticules de Si latéralement séparées ont été mises au point en utilisant la gravure électrochimique. La premičre approche est basée sur la gravure impulsionelle de Si en régime transitoire. La deuxičme approche est basée sur le broyage mécanique des nanostructures de Si poreux. L''analyse dimensionnelle et morphologique des nanoparticules réalisées a été effectuée par AFM et TEM. L''étude de la fluorescence ŕ température ambiante de nanoparticules de Si diluées dans divers solvants a été effectué. Les propriétés optiques des nanoparticules ont été étudiées en fonction de leurs concentration, composition chimique et état cristallin. Quelques perspectives d''applications ont été soulignées.
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