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Plasma Processing of Semiconductors

Idioma InglésInglés
Libro Tapa dura
Libro Plasma Processing of Semiconductors P.F. Williams
Código Libristo: 01395407
Editores Springer Netherlands, noviembre 1996
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etch... Descripción completa
? points 827 b
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Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. §Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.

Actriz & Políglota
EWA KASP para
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Ewa Kasp
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Sobre el libro

Nombre y apellidos Plasma Processing of Semiconductors
Autor P.F. Williams
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa dura
Fecha de publicación 1997
Número de páginas 613
EAN 9780792345671
ISBN 0792345673
Código Libristo 01395407
Editores Springer Netherlands
Peso 1052
Dimensiones 156 x 234 x 36

Categorías

Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería electrónica y de las comunicaciones > Ingeniería electrónica > Dispositivos y materiales electrónicos
Matemáticas y ciencias > Física > Física atómica y molecular
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Tecnología: cuestiones generales > Ingeniería: general
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería mecánica y de materiales > Destrezas y oficios de la ingeniería
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Tecnología e ingeniería energética > Ingeniería eléctrica
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