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Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Idioma InglésInglés
Libro Tapa dura
Libro Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387 Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini
Código Libristo: 02060050
Editores Materials Research Society, octubre 1995
The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t... Descripción completa
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The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.

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Sobre el libro

Nombre y apellidos Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Autor Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa dura
Fecha de publicación 1995
Número de páginas 455
EAN 9781558992900
ISBN 1558992901
Código Libristo 02060050
Editores Materials Research Society
Peso 795
Dimensiones 160 x 231 x 30

Categorías

Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería electrónica y de las comunicaciones > Ingeniería electrónica > Dispositivos y materiales electrónicos
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería mecánica y de materiales > Ciencia de materiales
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