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Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Idioma InglésInglés
Libro Tapa blanda
Libro Silicon Semiconductor Technology Ulrich Hilleringmann
Código Libristo: 43050800
Editores Springer, Berlin, agosto 2023
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro... Descripción completa
? points 176 b
71.99 €
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The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

Actriz & Políglota
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Sobre el libro

Nombre y apellidos Silicon Semiconductor Technology
Autor Ulrich Hilleringmann
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa blanda
Fecha de publicación 2023
Número de páginas 276
EAN 9783658410407
Código Libristo 43050800
Editores Springer, Berlin
Peso 524
Dimensiones 168 x 240

Categorías

Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería electrónica y de las comunicaciones > Ingeniería electrónica
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