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Nanopositioning Technologies

Fundamentals and Applications

Idioma InglésInglés
Libro Tapa blanda
Libro Nanopositioning Technologies CHANGHAI RU
Código Libristo: 19308562
Editores Springer International Publishing AG, marzo 2018
This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and ac... Descripción completa
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This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Ewa Kasp
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