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Nanopositioning Technologies

Fundamentals and Applications

Idioma InglésInglés
Libro Tapa dura
Libro Nanopositioning Technologies Changhai Ru
Código Libristo: 09493694
Editores Springer International Publishing AG, diciembre 2015
This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and ac... Descripción completa
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This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Ewa Kasp
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Sobre el libro

Nombre y apellidos Nanopositioning Technologies
Autor Changhai Ru, Xinyu Liu, Yu Sun
Idioma Inglés
Encuadernación Libro - Tapa dura
Fecha de publicación 2015
Número de páginas 409
EAN 9783319238524
ISBN 3319238523
Código Libristo 09493694
Editores Springer International Publishing AG
Peso 966
Dimensiones 155 x 235 x 29

Categorías

Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería electrónica y de las comunicaciones > Ingeniería electrónica > Dispositivos y materiales electrónicos
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Ingeniería electrónica y de las comunicaciones > Ingeniería electrónica > Ingeniería de control automático
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Tecnología: cuestiones generales > Ingeniería: general
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Tecnología: cuestiones generales > Diseño técnico
Tecnología, ingeniería, agricultura, procedimientos industriales > Tecnología: cuestiones generales > Nanotecnología
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